二手 SCREEN RF3S #9311025 待售

SCREEN RF3S是一种光刻设备，利用光在基板上形成抗蚀刻层。它的工作原理是将光敏聚合物暴露在紫外线下，在基板表面上形成遮罩。此蒙版可用于减法处理（去除暴露的材料以创建所需的形式）,也可用于添加暴露的材料以创建所需形状的加法处理。RF3S是一种耐溶剂系统，非常适合高精度蚀刻应用。该装置的设计目的是制造极其精确和均匀的涂层，以抵抗可能改变基板的热和化学处理。掩蔽聚合物也极耐自旋，因此在自动自旋涂层应用中可以承受极高的速度。曝光过程从放置在化学桶中的基材开始，在其中应用光敏化学浴。然后将对紫外线敏感的遮罩铺在基板上，并暴露在紫外线下。暴露的光敏化学物质与基材中的材料发生反应，形成覆盖表面的遮罩。曝光完成后，面罩被洗掉，基板中没有暴露在光线下的任何部分保持不变。然后将基材带到蚀刻室，在那里使用化学蚀刻剂。根据所使用的蚀刻工艺类型,将蚀刻掉基材的裸露部分,或将未暴露的部分蚀刻掉。可以控制蚀刻过程，产生极精确、高精度的蚀刻。SCREEN RF3S非常适合要求精确度和精确度的应用,因为它提供了耐热和耐化学处理的均匀、耐旋的涂层和蚀刻。该机还能产生极其精细的蚀刻，可用于多种材料，包括金属和聚合物。RF3S具有快速、准确的应用,非常适合任何需要精确蚀刻的工作。