二手 SCREEN RF3S #9379824 待售

SCREEN RF3S是由SCREEN Process Company开发的光阻光敏涂层设备。光致抗蚀剂是一种在曝光时改变特性的材料，使其在半导体器件、光子学和印刷电路板的制造中非常有用。RF3S系统是一种高性能解决方桉,适用于需要高精度和分辨率的用户。该单元由三层涂层结构组成，顶部有铝反射层和光敏光敏层。底层是一种特别配制的封堵材料，旨在保护另外两层与基板接触。铝反射层将遮罩的光照图样反射到光致抗蚀层，使其激活，并提供一个清晰、高分辨率的图样，转移到基板上。SCREEN RF3S机具有高精度图样，分辨率高，重复性强。适用于线宽在5微米以下的图样制作，可提供高达1微米的覆盖精度。它还能够承受高激光功率和具有挑战性的材料，包括那些具有高k电介质的材料。该工具使用相对容易，涂层程序简单，维护要求低。它最适合使用清洁的基板和稳定的温度和湿度水平，并且非常适合短寿命和长寿命的光致抗蚀剂。它还与湿处理兼容，可以方便地去除光刻胶并保持底层图桉的完整性。RF3S资产具有成本效益和可靠性,是各种光刻胶应用的理想解决方桉。它非常适合复杂、精密的元件的阵列设计,而且具有足够的灵活性,可用于各种应用。这是一个功能强大的模型,它为用户提供了光刻过程中的最佳精度、分辨率和可靠性。