二手 SCS 6708D #9161853 待售

SCS 6708D是一种高精度的最先进的光刻设备,可满足高度多样化的生产需求。它是一个先进的全自动系统,具有卓越的生产效率,几乎不间断的生产。用户友好单元包括自动化操作软件，以改进整个过程控制。该机采用直接环形驱动技术（DRT）,具有全旋转处理能力,最高转速可达30 rpm。DRT允许在常规系统通常周期时间的一半内快速加载/卸载。光刻工具提供了卓越的均匀性和分辨率。它装有精密的机械主轴，具有极好的精度和均匀性。主轴装有可调节的夹环、可调节的环钳和支撑环臂等部件，以确保部件的高度精确定位。该资产还提供可重新配置的晶片持有者，这些持有者将适应不同尺寸和不同化学性质的底物，从而不需要特殊的适配器。封闭式真空帽可防止温度、动能和静力以及可能对敏感的光刻胶层造成伤害的颗粒污染水平。此外,该模型还配备了自动化测试设备,可以快速识别仪器和材料不一致之处。各种传感器，如光学、单参考、红外和氯溴化物，最小化测量时间，简化过程。这个测试系统通过复杂的数字信号处理进行监控，可以检测和隔离过程中最微小的差异。为了提高吞吐量和性能,6708D提供自动机器运行状况监控。这包括可以检测生产运行之间刀具性能差异的传感器,并标记检测到的任何差异。总体而言,SCS 6708D光阻装置提供了可靠、高效和高度准确的生产方式,具有卓越的涂层均匀性和分辨率,以及有助于简化工艺的高级自动化功能。对于需要可扩展、高精度光刻机的用户来说，这是一个理想的选择。