二手 SCS FA-812-1060-1 #9157134 待售

SCS FA-812-1060-1是一种光刻设备，旨在为半导体晶圆加工提供先进的光刻能力。它是一个可靠且易于使用的系统，可以集成到生产环境中。该单元具有高功率的KrF准分子激光源和自上而下的扫描级,可支持200 mm的晶圆尺寸。激光被分成两束，然后用一定距离分开，并通过冷凝器透镜和针孔光圈进行定向，从而在光敏材料中形成所需的图样。该光掩模安装在与扫描级协调的电动掩模级上,以实现灵活、精确的对准。FA-812-1060-1具有自动参数优化功能,可确保根据观察到的性能根据需要更改过程参数。利用可单独编程的激光功率和快门速度，优化了晶圆上曝光光刻胶的均匀性。此外，该机采用带有实时反馈的高端监控工具，提供先进的过程控制和验证。还包括了激光和晶片加载位置之间的屏蔽、电子互锁的快门等几个内置的安全特性。百叶窗门配有互锁装置，可防止在门打开时发生任何接触。还提供了紧急关闭按钮,以便在紧急情况下快速关闭。SCS FA-812-1060-1是一种高效可靠的光刻材料，它提供高质量的光刻效果和最佳的工艺控制。凭借其先进的特点和自动参数优化，该模型允许以最小的努力生产世界级半导体晶片。通过提供安全的操作、灵活性和可靠的结果,FA-812-1060-1是任何生产环境的完美解决方桉。