二手 SEMES EKPS-01 #9259252 待售

SEMES EKPS-01是为广泛的光刻应用而设计的高科技光刻设备。该系统由多个协同工作的组件组成，可提供优异的性能和精确度。EKPS-01单元包括真空最佳工作台（VBT）和闭环高度控制机,可确保在处理过程中精确对齐。VBT由线性轴双运动控制工具驱动，允许x-y-z运动，方便基板对准，提高加工精度。光刻胶分配站提供光刻胶溶液的自动分配，能够在不同尺寸和几何形状的基板上产生薄而均匀的涂层。电子束暴露工作站能够在大面积上创建具有快速曝光速度和高质量结果的模式。一个直接各向同性蚀刻站用于样品的化学干蚀刻加工，为先进的制造需求提供灵活的工艺参数。最后，化学溶剂站清除不需要的残留物，并准备样品进行进一步操作。SEMES EKPS-01是高精度光刻的理想选择，提供最大的工艺精度和效率。