二手 SEMES Lozix #293777604 待售
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SEMES Lozix是一种光刻胶设备,设计用于处理各种不同的光刻胶和光掩模材料。该系统由一种光敏光敏材料和一种显影浴组成,可用于蚀刻到抗蚀剂中的图桉。光致抗蚀剂是一种由聚合物和光学染料组成的薄膜,使其对光敏感。当暴露在光线下,染料会发生改变,这会导致可以用来制造图样的材料发生光化学变化。Lozix单元用于创建光刻胶中的高精度图样。它由一个特别设计的带有光源和光学滤光片的腔室组成。辐射随后被送至抗蚀剂材料,该材料既可以是预先涂层的光致抗蚀剂薄膜,也可以是光掩模。光敏膜由有机层、光吸收层、有机粘合剂层组成。当受到光线照射时,胶片会发生一系列光化学反应,导致其表面以特定图样蚀刻。这使得以非常高的精度创建模式成为可能。SEMES Lozix机器也能够在不使用抗蚀剂材料的情况下将图样蚀刻到光掩模中。光掩模是透明板的一种,可以用作在金属或半导体中蚀刻图样的模板。Lozix工具使面罩暴露于紫外线辐射下,导致聚合物聚合形成图样。这个过程在蒙版上产生高分辨率的图样,然后可以转移到基材上。SEMES Lozix资产非常适合生产光伏电池、半导体芯片和其他先进技术部件。高精度和重复性使其成为许多生产工艺的理想选择。它也是经济的,其低环境影响使得它成为许多应用的一个有吸引力的选择。
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