二手 SEMES Lozix #9236890 待售

SEMES Lozix
製造商
SEMES
模型
Lozix
ID: 9236890
晶圆大小: 12"
Track system, 12".
SEMES Lozix是一种光刻设备,利用光在基板表面创建图样。光致抗蚀剂是一种液态材料,可以暴露于光,以便在表面上产生图桉。这种材料通常由聚合物、丙烯酸和染料制成。然后开发出暴露的光致抗蚀剂,以便将图样蚀刻到基材上。Lozix系统针对厚度范围较大的图桉材料进行了优化,如金属薄膜、玻璃、塑料基板等。其改进的分辨率使其能够产生特征低至5 μ m(0.005 mm)的图桉。该装置用于大面积制图和生产微结构。其灵活性和精确度使其成为适合医疗、电子、航空航天等多个行业的工具。光致抗蚀剂通常通过自旋涂层涂在基板上。这种涂层在暴露于光线之前会覆盖有阻光接触套。该套筒用于防止在此过程中受到其他光源的干扰,并确保光刻胶的均匀曝光。曝光可以通过直接照明或使用镜头机投射的重迭图像来实现。随后,为了得到一种图样化的基材,开发出暴露的光致抗蚀剂。开发过程可以使用正极或负极光致抗蚀剂进行,具体取决于应用。正光致抗蚀剂通过去除未曝光的材料而产生图样,而负光致抗蚀剂则通过留下暴露的材料而起作用。最后,图桉化的基材准备在其各自的应用中使用。SEMES Lozix工具允许快速、准确和通用的基板阵列。它还为根据应用程序要求定制模式提供各种曝光和开发选项。它的灵活性和精确度为原型制作和小型生产提供了广泛的可能性。
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