二手 SEMES Lozix #9270506 待售

SEMES Lozix是一种光致抗蚀剂设备，用于下一代半导体基板上的阵列和成型元件。它由光活化和光刻组件的独特组合组成，可产生高效和可靠的亚微米线和空间图样光刻工艺。该系统采用激光图样光活化工艺，具有多级抗蚀剂的开发工艺，以极高的精度形成紧密的特征尺寸。光致抗蚀剂单元由两步激光外展过程组成，该过程从基材对光辐射源的图样曝光开始。这种暴露的强度将决定基质的每个暴露区域将得到的激活程度。一旦达到所需的暴露轮廓，基材就会通过输送机，根据应用需要，在先前暴露的基材上形成两个对比抗蚀层之一。一旦完成，基板材料将移至工艺的后溶解阶段，在该阶段，发达的抗蚀剂被允许凝固，并使用一系列额外的化学蚀刻技术使基板的图样达到所需的公差。然后化学蚀刻过程去除残留的抗蚀剂材料，以揭示底层基材。Lozix光刻工具由于精度高，加工时间快，非常适合批量生产。激光烧蚀和抗蚀开发过程还有助于降低腔室中的污染水平，有助于延长产品寿命和最大限度地减少缺陷。此外，两步光刻工艺还有助于确保最终产品的高产量，这要归功于其精确度和快速的速度。总体而言,SEMES Lozix光刻胶资产可帮助半导体制造商准确快速地生产图样,从而降低成本并加快上市时间,使其成为现代微芯片生产的宝贵工具。