二手 SEMES Semhawk #9302263 待售

SEMES Semhawk是一款下一代光敏设备，设计用于制造复杂的高分辨率集成电路。该系统利用更高的能量束，称为极紫外线，擅长产生尖锐、高对比度的图像。这是由于光束具有高度的高能性质，这使得它能够分解出传统的光致抗蚀剂单元无法抵抗的分子。由于速度和生产力的结合，现在可以生产复杂的微电子，这在以前是不可行的。机器的核心是带有冷场发射（CFE）和眼镜透镜（SLMs）的电子束枪，能够产生和操纵用于光刻的电磁辐射。紫外线激光用于控制和对准CFE。然后，CFE将紫外光束引导和调制到抗蚀剂涂层表面上。这种抗蚀剂被紫外线选择性熔化和/或硬化，在表面上产生图像。Semhawk高度集成,包括快速热处理单元等功能,通过在处理过程中快速加热和冷却抗蚀剂来保护光刻胶免受损坏。该工具还配备了真空室、电极和检测器，使其能够产生精确形成光敏层图像所需的强烈真空。该资产的设计是耐用和高效的，并且可以通过包括耐磨和耐热部件来承受恶劣的紫外线和工艺环境的影响。由于其高度密集的元件、接线和耐热性，它还能够产生质量和精度都很高的图像。该模型可产生小至180纳米的特征尺寸，并支持最多8层的曝光和晶圆堆积。除了坚固的特性外，该设备还包括自动模式识别模块等功能，可帮助用户优化图像，降低模式缺陷的风险。该系统还利用内置的自动曝光和聚焦控制来提高精度。凭借其广泛的特性和优势,此光刻装置非常适合那些正在寻找能够产生高对比度、表面清洁和图案缺陷极小的图像的工具的客户。