二手 SEMITOOL 2300S #151756 待售

SEMITOOL 2300S
製造商
SEMITOOL
模型
2300S
ID: 151756
晶圆大小: Up to 12"
Spin rinse dryer, up to 12".
SEMITOOL 2300S是一种用于生产微电子器件的光刻设备。用于在微电子基板上涂覆和开发光刻胶。该系统具有高度自动化和用户友好的特点,具有先进的功能,可提供精确和可重复的电影性能。2300S采用低温烘烤方法,与细腻的基板具有极好的兼容性,并具有自动胶片轨道配置。它的自动胶片轨道是可调的,以适应各种基材尺寸。一套经过特殊设计的高质量抗蚀泵,可以在每个脉冲的情况下,将抗蚀剂材料精确地应用到基板上。此外,SEMITOOL的压力室和喷嘴组件2300S具有可调节的高度和角度调整,从而实现精确和可重复的涂层膜厚度。光刻装置还具有高精度的光学机器和一个短波长的激光,允许精确和可重复的特征分辨率。该工具利用专有的高级算法消除尘埃颗粒的影响,实现精确的聚焦控制。而且,它的板载两速搅拌电动机允许精确的粘度控制和涂层均匀性。为确保薄膜轮廓的精确和可重复,2300S采用了先进的非接触式轮廓测量方法来精确测量基板的表面轮廓。此外,其低排气材料和防升华模型有助于保护敏感基板并确保质量结果。SEMITOOL 2300S光刻胶资产非常适合各种需要精密轮廓、薄膜均匀性、精细特征控制和低放气材料的应用。该模型的自动化特性为每个基板提供了统一一致的薄膜性能,其先进的光学设备确保了精确和可重复的特征分辨率。此外,其低温烘烤方法确保了与细腻基板的相容性,使其成为微电子器件生产的理想选择。
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