二手 SEMITOOL 2300S #9088742 待售
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ID: 9088742
Spin rinser dryer
PSC-101 Controller
208 V, 50/60 Hz, 15 A
Option available: Rotor, 8".
SEMITOOL 2300S是为高精度半导体光刻而设计的光刻加工设备。该系统能够管理设备几何尺寸降至0.25 μ m的高质量成像。它具有从基本到先进的各种适应性光敏涂层,速度和精度都不相等。2300S光敏装置有两个主要组成部分,一个化学模块和一个真空工具。化学模块的设计目的是在暴露前将酸溶液和神经溶液有效地涂覆在所需的光致抗蚀剂中。该模块能够管理几种解决方桉,以减少光致抗蚀剂的浪费,同时在整个基板上保持均匀的涂层。同时,该真空工具优化了光化工艺,改善了掩模对准,确保了更高分辨率的成像。这两个组件的独特组合为SEMITOOL 2300S在半导体光刻领域提供了强大的边缘,使设备几何形状达到0.25 μ m。它的等离子体增强型原子层沉积技术也能够实现极高的精度,让即使是最小的特征也能得到准确的再现。2300S为用户提供了许多优势,包括缩短曝光时间、提高分辨率成像和提高产品产量。它还融合了高级晶圆映射、自动对齐、闭环控制等功能。每一个特点都是为了进一步提高光刻机的精度和效率而设计的。所有SEMITOOL 2300S系统还附有全面的用户手册,提供有用的指导和有用的相关信息。此外,公司还为其所有产品提供全面的技术支持和客户服务,从而简化了安装和设置过程。总体而言,2300S是一个高度熟练的光刻工具,提供卓越的效果,同时保持高水平的成本效益。它非常适合这种需要复杂细节和高精度的制造工艺。
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