二手 SEMITOOL 240 / 260 / 270 #171344 待售

SEMITOOL 240/260/270光刻胶系统在半导体工业中广泛使用240/260/270光刻胶系统在半导体工业中用于一系列基材上的光刻胶薄膜的精密沉积、溶解和开发。系统由几个模块和组件组成，包括一个湿加工站、一个光刻装置、一个掩模对准装置、一个粒子监测器和一个干燥装置。湿法加工站负责感光膜的沉积、溶解、开发。它的主要部件是一个腔室、一个中央控制器、一个加工站和一个旋转载体。该室用于容纳过程化学和环境。加工站负责用底物材料搅拌供应，如化学品和溶剂。旋转载体用于将基板从腔室输送到加工站进行加工。光致抗蚀剂装置配有10 X至500 X放大倍率的显微镜，用于观察和检查过程中的基板。纺纱和烘烤装置负责将液体或粘性光刻剂纺纱，并烘烤在基板上所形成的图样，使其暴露在面膜对准器的光照下。此外，SEMITOOL 240/260/270还设有一个粒子监测器，用于监测环境的清洁度。最后，干燥装置负责干燥和固化基板上的光敏膜。240/260/270是半导体工业光敏处理的突出工具。它为生产高质量的半导体器件提供了可靠和精确的工艺。该系统有多种配置,其模块化设计允许轻松维护和更换组件,从而节省了时间和金钱。此外，先进的安全功能确保人员和设备的最佳安全。该系统可与任何类型的湿加工站、光刻胶单元、烘烤或烘干单元配合使用，均极为精确可靠，使得SEMITOOL 240/260/270成为企业寻找光刻胶系统满足其需求的理想选择。