二手 SEMITOOL 240 series #85324 待售

SEMITOOL 240系列是专为方便光刻工艺而设计的光刻加工设备。它能够快速、准确、一致地从设计信息中生成干净、坚固的光刻胶图桉。该系统非常适合半导体工业的批量生产和研究实验室应用。该单元由各种硬件、软件和其他组件组成,它们可以协同工作以获得最佳的细节和吞吐量。240系列包括用于编程和配置作业和过程配方的高级配置处理器（ACP）、用于监视每个光刻胶处理周期内的温度、压力和批处理状态的交互式过程控制器（IPC）以及用于监视和验证光刻胶掩模质量的板载分析机（OAS）。此外,该工具还包括用于管理多个气源参数的GAS Source Manager, 一个气体分析仪，用于监测每个步骤的工艺差异， 用于控制和保持涂层溶液的适当粘度的粘度校正器， 一种洁净室惰性气体棒，用于喷涂光敏材料， 以及用于定义和控制每个作业的资产参数的专有软件应用程序。SEMITOOL 240系列专为自动化和灵活性而设计。该模型采用多种气源配置,可以进行批处理和连续处理。平台设计为在洁净室环境中运行，使空气和颗粒保持在最低限度。该设备还提供现场电脑化维护监测系统，帮助快速诊断和排除设备问题。此外，该机器设计为具有几层安全和用户友好的操作特性，允许用户精确控制光刻胶工艺的每一步。240系列是寻求快速、一致地产生高精度光刻胶图桉的设施的完美工具。凭借其可靠高效的设计，SEMITOOL 240系列为用户提供了最大精度和可重复性能，以确保最佳的光刻效果。