二手 SEMITOOL 240F #151785 待售

SEMITOOL 240F
製造商
SEMITOOL
模型
240F
ID: 151785
晶圆大小: Up to 4"
Spin rinse dryer, up to 4".
SEMITOOL 240F是为半导体制造商设计的光刻设备,强调精度、重复性和可靠性。这一新一代系统加强了湿式和干式光刻工艺的工艺控制。240F使用户可以完全控制其光刻工艺。其集成的可编程计时器可以让用户精确控制自己的曝光时间。数字监视器可在整个光刻过程中显示可见性,允许用户实时监控其过程。其Ebeam照明确保晶片上的高度均匀性,其"智能扫描"特性使其在生产过程中能够快速准确地检测缺陷。SEMITOOL 240F还为用户提供了先进的基板处理和传输功能。六轴机器人臂相对于光轴精确定位和传递基板。真空和过滤装置保证了光刻胶层的完整性,并最大限度地减少了缺陷。这台机器的设计效率最高.它利用晶片切屑芯片(WDC)进行晶片切屑和切割,并利用晶片清洗机器人(WCR)进行晶片清洗。这两项功能减少了手动干预的需求,允许用户简化流程并提高产量。240F也是为安全和环境可持续性而设计的。其安全特性包括内置超温传感器、检测有害化学物质水平的监视器,以及防止温度变化的专用冷却通道。其排气工具高效过滤和再循环废气,显着降低排放输出。总体而言,SEMITOOL 240F是一种先进的光阻资产,旨在满足精度、可重复性和可靠性的最高标准。它为用户提供了对光刻工艺的最大控制,并提高了效率、安全性和环境可持续性。
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