二手 SEMITOOL 240F #9283685 待售

SEMITOOL 240F是一种用于将薄膜层沉积到半导体晶圆上的光刻设备。其先进的特性使其能够以高精度和精确度沉积薄膜层。该系统由四个主要组成部分组成：真空室、溅射源、绝缘室和光致抗蚀层。真空室是用来创造一个低压环境，有助于减少背景和抑制热氧化。然后，溅射源包含在真空室中，能够将一层薄膜介质沉积到晶片表面上。隔热室用于维持底物和反应室气体之间所需的平衡，并有助于在晶片上形成均匀的涂层。最后，光致抗蚀层有助于保护薄膜层免受环境的侵蚀，并确保其在蚀刻过程中附着在晶片上。240F还包括一些功能,旨在支持精确的过程控制和监控。该单元包含实时视觉反馈,以保持过程一致性。此外,双载荷臂和优化的工艺管线长度可提高吞吐量时间,这意味着更高的生产率和降低的成本。集成的AutoSave软件套件还为配方开发和更高的流程控制提供了强大的平台。总体而言，SEMITOOL 240F是一种先进的光刻机，利用先进的特性，在薄膜层沉积到半导体晶片上时提供精度和准确性。其精密的过程控制功能确保了统一和可靠的结果,并减少了成本和时间支出。240F是需要可靠和高质量地沉积薄膜层的行业的理想解决方桉。