二手 SEMITOOL 240S #85326 待售

SEMITOOL 240S是一种光阻设备,设计用于提供出色的均匀性、钝化和接触计量过程。它具有专利技术，以确保一致和可靠的光敏处理。该系统包括一个具有综合安全功能的湿式工作台。它采用独特的晶圆传输单元，保持晶圆的平坦性和可重复性。处理器使用先进的喷嘴、样品支架和浸泡杯设计以及无污染物环境,以确保精确的防腐涂层。光致抗蚀剂处理器还具有自动抗蚀剂填充机和温度控制浸入工艺，以确保最佳效果。该工具还包括一个Spincoater与专利双腔室微调。它有一个专用的喷雾室,用于均匀应用光刻胶.这样可以精确控制抗蚀剂厚度、旋转速度和旋转次数。该资产还具有钝化室，以保护暴露的晶片免受化学腐蚀或氧化。除了Spincoater之外，240S还包括一个接触计量模型（CMS），用于测量抵抗模式均匀性和接触电阻率。该设备采用涡流技术、测量头和获得专利的双范围电流传感器的组合，以提供精确、精确的测量。总体而言，SEMITOOL 240S是晶圆加工中精确、高质量结果的理想光刻系统。其先进的特性允许均匀的抗蚀剂覆盖，精确的接触计量，以及暴露晶片的可靠钝化。此外,它还提供完整的自动化和温度控制过程,以确保结果一致。