二手 SEMITOOL 260 #82966 待售

SEMITOOL 260是来自SEMITOOL, Inc.的光阻设备，是开发集成电路的最先进工具。它是硅和器件结构上的抗蚀层处理平台，用于溷合微电路、半导体器件制造、薄膜沉积/蚀刻/光刻等微电子器件工艺。260是一个多功能平台，可以配置广泛的组件和升级，以满足用户的特定应用需求。它是围绕一个封闭的、环境友好的腔室建造的，该腔室与包括Ar、CF4、O2、SF6和N2在内的各种工艺气体兼容。所有工艺参数都是可编程的，并通过数字控制器进行监控，而腔室环境则是使用先进的PID控制器控制，以保持精确的温度和压力水平。SEMITOOL 260还具有先进的抗蚀剂分配系统和薄膜沉积功能。抗蚀剂分配单元允许精确地输送各种厚度和特定形状的光致抗蚀剂材料。薄膜沉积机允许以各种厚度和特征尺寸沉积各种薄膜。薄膜沉积室可以配置多种用于聚合物、金属和电介质的陶瓷靶标，以满足特定应用的需要。260还包括一系列工艺支持工具，如电动晶片夹具和自动晶片处理工具。晶圆夹具允许在加工过程中对晶圆进行精确操作，并提供晶圆配准的精确调整。自动晶圆处理资产每个周期最多可处理12个晶圆，并具有精确的温度控制转运站。SEMITOOL 260在UL上市，符合所有适用的行业和安全标准。它的模块化结构设计允许简单的安装和使用。该设备与PC和PLC兼容,并附带简化设置和操作的软件。该软件还允许用户快速高效地测试、分析和优化流程。