二手 SEMITOOL 260 #82968 待售

SEMITOOL 260是为生产半导体器件而设计的光刻设备。该系统配备了高级功能,可提供最高级别的精度和可靠性。该装置结合了精密的光刻胶分配和涂层、图样设计以及对设备制造质量最高的检验。260具有最先进的光刻胶应用自动化过程。高分辨率的分配和涂层头具有尺寸在5到50微米之间的喷嘴，能够准确有效地应用光刻胶。机器的喷嘴布置确保了材料不平衡的最小化，并在制图过程中形成了优越的形状，从而提高了产量。SEMITOOL 260包含用于精确模式传输的高分辨率阵列工具。该资产拥有广泛的模式参数窗口，高速模式和集成的可编程模式布局。其强大的机动化对准和定位功能可实现精确的模式控制和模式放置精度。此外,自动激光扫描仪配置提供了卓越的精度、重复性和可靠性,同时提供了精确的晶圆和模具对准。260的另一个关键特点是其质检模型。这台设备配备了一整套传感器，包括高分辨率CCD相机、激光扫描仪和3D拓扑轮廓显微镜，以确保设备质量的最高水平。综合测量软件具有三维地形图绘制能力和多传感器自动校正功能，可实现精确、可重复的过程控制，并具有可追溯的结果。SEMITOOL 260还通过其流程模块的灵活性和用户友好的配方设置和控制提供了灵活的处理功能。该系统还为最高效率和吞吐量而设计，具有快速晶片加载、基于晶片需求的加载和高容量腔室加载等特点。整体260是一个可靠高效的单元，能够提供精确、可重复的光刻胶应用、图样和检测，是最优质设备制造的绝佳选择。