二手 SEMITOOL 260 #82972 待售

SEMITOOL 260是一款先进的光刻带设备。这是一个自动化的，一步一步，经济的系统，从半导体基板去除光刻胶。该单元提供厚（>0.25 μ m）、薄（<0.25 μ m）或多层光刻胶应用的精密清洗和蚀刻，过程平缓而均匀。260机采用创新技术精确控制整个光刻胶清洁循环，包括酸浓度、冲洗水温、保持时间和带状循环持续时间。该工具由四罐闭环循环资产提供动力，具有用户选择的清洁和蚀刻速度。它采用了先进的单相蚀刻工艺，能够出色地去除光刻胶层。SEMITOOL 260操作软件旨在帮助提高清洁性能并最大限度地减少过程中的错误。该软件具有一系列可定制的工具,使操作员能够根据特定的基板要求优化清洁周期。它还使用户能够自动进行连续清理,并设置定期警报和可编程的启动/关闭时间。该模型便于操作员精确控制抽头和反向抽头循环，以获得最佳的清洁效果。反向水龙头循环有助于减少残留的剥离器，冲洗晶圆表面的水，从而提高清洁质量。该设备还采用了两个密切监测的酸和清洁循环罐，可串联使用或独立使用。为安全起见，260系统设计有先进的安全单元。这台机器具有多个传感器和监视器，能够对过程参数进行连续和连续的监控。该工具还利用一个隔离的清洁室防止意外接触有害化学品，以及一个独特的酸控制资产，监测和维持pH值，以获得一致的清洁结果。除了可靠的性能外，SEMITOOL 260车型还设计了易用性。它带有简单、直接的操作控制和直观的图形用户界面（GUI）。用户界面使设置和调整参数更容易适应单个应用程序。此外，它还具有自洁功能，有助于确保最优质的光刻胶剥离效果。