二手 SEMITOOL 270 #77035 待售

SEMITOOL 270是用于生产半导体器件的光刻胶系统。它是一个专用系统，利用多个过程模块提供精确的光刻。它包括一个掩模对准器、一个涂抹器、一个显影站和一个抵抗剥离站。掩码对齐器模块能够控制掩码与晶片之间的关系并确保准确的模式配准。它使用光学组件将图像图样投影到光刻涂层的基板上，产生与设计精确对应的图样。此外,掩码对齐器还提供了步进和重复功能,允许在单个基板上放置不同形状和大小的多个阵列。光刻胶涂抹器用于将光刻胶材料以均匀的层传递到基板表面。它具有自动控制均匀薄膜厚度、提高吞吐量和减少光学干扰的功能。这种涂抹剂还可以用来涂抹几层光刻胶或宣传不同薄膜厚度的图桉层。270包括一个开发站，可用于去除未曝光区域的光致抗蚀剂。其高分辨率喷嘴能够提供精确、定向的化学蚀刻图样，从而减少光刻工艺所需的时间。它具有高速处理的数字泵和精确液体输送的数字压力控制功能。然后可以将显影的光刻胶蚀刻到表面，形成所需的图桉。最后，使用抗蚀剂剥离站从基材中去除未曝光的光致抗蚀剂。有效地提供无残留去除负音光刻胶的重复效果。电子光束监测晶片清洗站确保有效地从表面除去所有的光致抗蚀剂。SEMITOOL 270提供了一个完整的光刻系统，以方便半导体器件的制造。其功能旨在为这些组件的生产提供精确和自动化的光刻技术。它的灵活性和便利性允许对各种基材进行高效加工。