二手 SEMITOOL 270 #9036302 待售

SEMITOOL 270是为可靠的物理气相沉积（PVD）和蚀刻工艺而设计的全自动光刻设备。它为集成电路制造、MEMS、纳米技术和薄膜沉积提供了先进的材料沉积能力。270提供了对物理气相沉积（PVD）、蚀刻和退火工艺以及化学机械加工（CMP）的最先进的自动化控制。该系统具有先进的射频等离子体源、健壮的机器人处理单元、原位加热、集成前体以及强大的后处理诊断功能。SEMITOOL 270配备了多功能工艺室，能够在AL、Cu、TiN和ITO等多种材料中提供较高的材料沉积速率。集成机器人处理机能够在单圈和多圈模式下一次处理多达30个晶片。这使得该工具高效,并提供了高度的流程灵活性。270还配备了坚固的射频等离子体源，允许低温、低压沉积。工艺与铝基板兼容，能够达到高质量的材料层。对于需要精确控制沉积过程的情况，这种选择是理想的。SEMITOOL 270上集成的原位加热资产允许在蚀刻和沉积过程中进行精确的温度控制。该模型提供均匀的温度分布、低的热扩散以及整个晶圆的一致温度。此功能允许在蚀刻和沉积应用中进行可重现的处理和改进的可重复性。270还包括集成前体，为加工室提供前体的自动剂量和储存。此功能减少了手动处理的需要,并最大限度地减少了浪费。设备还配备了强大的过程后诊断，对沉积过程期间和之后的过程结果进行全面分析。这样可以确保整个晶片运行过程中的层质量一致。最后,SEMITOOL 270是一种先进的光刻胶系统,具有强大的特性和功能,非常适合集成电路制造、MEMS、纳米技术和薄膜沉积等多种应用。该单位的多功能工艺室、集成机器人、射频等离子源、原位供热机、集成前体、后处理诊断都走到了一起，提供可靠、准确、统一的结果。