二手 SEMITOOL 270D #9113800 待售

SEMITOOL 270D是一种专为半导体制造而设计的全自动光刻设备。它专为处理多达300毫米的工艺晶片而设计，能够使用具有可编程参数的四条、五条或八条工艺管道。该系统配备了先进的PLC控制器和自动配置功能，以确保精确的过程控制和屈服优化。它还包括一个复杂的CASSETTE®晶片采摘传输单元，该单元比传统方法更精确地定位晶片。此外，机器在晶圆处理过程中提供了一个清洁且无污染的环境。270D配备了最先进的γ射线光源图像曝光器。它提供了一系列的曝光参数，包括焦点、剂量、景深、装置场的大小和形状以及对准公差。干燥环境中的晶圆暴露于光电辐射下，形成所需的图样和图像。图像曝光精度在10 μ m间距内,配准精度为0.3 μ m。该工具还配备了板载几何处理单元（GPU），以允许先进的光刻扫描和图样技术，如子分辨率特征和多频曝光。全自动工艺资产还包括用于清洁、开发、光阻剥离、浮阀化学输送和调理的高级工艺模块。该工艺室提供无污染物的清洁环境，并配有用于监测工艺配方参数的精密测井功能。实时室内厚度监测仪也能方便地进行非原位厚度测量。其他特点包括附着层的高流速TN膜沉积模型，集成表面污染控制的自动薄膜沉积控制，以及实时等离子体监测。总体而言，SEMITOOL 270D光刻设备是一种可靠、高效的半导体制造解决方桉。它提供卓越的工艺一致性和控制,同时还提供可靠的晶圆吞吐量.专为满足MEMS、微电子、光电子等行业大批量生产应用的严格要求而设计。