二手 SEMITOOL 270F #151770 待售

SEMITOOL 270F是一种主要用于半导体制造的光刻设备.这个工具有一个自给自足的抗蚀剂处理系统，有一个对流烘烤模块和一个干条模块。270F中的输送机模块无缝地将晶片从一步移到另一步，减少了对晶片手动处理的需要。本模块采用安全夹紧装置,可消除晶圆处理程序接口工具的潜在损坏。烘烤模块由两个高温室组成，一个过温探测器和传送带。上下烤箱的温度可以独立设置和编程，以便进行最佳处理，集成的过温检测器确保安全，避免损坏。SEMITOOL 270F的干条模块设计有一个能够同时容纳多达19个晶圆的低调盒式磁带。这台机器提供高速、均匀和一致的条带质量，并在恶劣的化学环境下提供最小的暴露时间。带状模块还设有安全带状气体和化学检测工具，用于保护人员和设备免受不当伤害。270F资产位于与清洁室兼容的机箱中,该机箱配有三位门开关、可编程排气风扇和Batch Mate数据采集功能。此模型允许对流程配方进行完全灵活的脱机编程和评估,并且可以集成到客户现有的自动化环境中。此外，SEMITOOL 270F设备内置了校准、维护和安全服务。总体而言，270F是一种先进的光刻胶系统，旨在为制造半导体提供卓越的光刻胶和干条加工。通过改进对过程的控制和改进过程性能,该单元可以显着提高产量、可靠性和成本节约。