二手 SEMITOOL 270S #151767 待售

SEMITOOL 270S是一种专为超高精度光刻涂层应用而设计的精密自动光刻喷涂涂层。它采用模块化设计,并提供最大的灵活性,使其能够根据不同的客户需求进行配置。SEMITOOL 270-S设计为覆盖大面积,具有均匀、可重复的薄膜厚度,最多可同时或按顺序容纳四种不同的光刻胶类型。该设备包括一个集成的传感器和控制系统，使其在运行中高度可靠。270S光敏喷涂涂料装有计算机控制的多区域工艺室，在应用过程中可以调整以精确控制不同的参数。该腔室有计算机控制的可调容积腔室，带有动态压力传感器，确保厚度均匀。容积室还有一个自动补充系统，以自动补充化学罐，并随着时间的推移在装载室中保持均匀的抵抗浓度。270-S还包括一个氮气清除装置，用于清洁涂层批次之间的腔室。SEMITOOL 270S光刻胶喷雾机采用先进的伺服控制喷枪设计，可用于光刻胶材料的精确和可重复的应用。喷嘴设计为涂抹氧化和缺陷形成最小的均匀薄膜。喷嘴有一个安装在可变宽度同心环中的旋转旋转器组件，可以调整以产生不同线宽的均匀涂层。此外，该工具采用多喷嘴配置，允许同时处理多个基板。SEMITOOL 270-S光刻胶喷涂涂层具有用户友好的图形界面,可灵活直观地编程。这样可以方便地控制涂层的参数、设置和操作。此外，资产利用步进和重复技术，以确保整个基板涂层的模式一致，使其高效。最后,270S配备了维护模式,以最大程度地减少停机时间并确保正常运行和持续功能。