二手 SEMITOOL 270S #178056 待售

SEMITOOL 270S光刻设备是一种高性能晶圆加工工具，旨在满足半导体光刻加工的最新市场需求。该工具设计用于在各种光掩模、基板和涂层上处理多达150毫米的晶圆，是蚀刻、离子植入、植入和其他先进工艺等光刻工艺的理想选择。SEMITOOL 270-S具有一个7轴机器人定位系统和一个4轴定格运动单元，这两个单元都与一个控制器相连，以确保一个最佳的过程。整个机器与运动控制计算机和操作员接口集成在一起。计算机允许操作员通过操纵各种机器人马达远程控制机器。另一方面,Operator Interface使操作员能够监视过程的进度以及调整特定参数。在晶片加工方面，270S能够有效地进行光照、旋转和喷涂涂层、烘烤前和烘烤后、背面清洁和涂层以及烘烤后操作。该工具可以以高达180瓦/秒的速度执行,并且可以相应地编程。它还具有先进的自动化校正资产,以进一步加强过程控制。在安全和安保方面,270-S通过一系列关键功能提供高水平的控制和自动化。该型号带有高级安全协议,可防止未经授权移动或修改计算机。此外，机器人电机还配备了安全联锁装置，整个设备的设计符合最严格的消防安全要求。综上所述，SEMITOOL 270S光刻系统是一种可靠、强大、高效的晶圆加工工具，旨在满足半导体光刻加工的最新要求。它提供了高水平的安全性、准确性和控制性，先进的计算机和操作员界面使得远程编程和监控极为容易。