二手 SEMITOOL 270S #293590455 待售

SEMITOOL 270S
製造商
SEMITOOL
模型
270S
ID: 293590455
晶圆大小: 6"
Single stack SRD, 6".
SEMITOOL 270S是一种光阻设备,设计用于大容量半导体制造的最佳用途。采用创新的微调设计,预制陶瓷卡盘和定制的铝制羽毛笔,以实现最佳的耐化学性、温度均匀性和颗粒控制。SEMITOOL 270-S提供多种卡带选项,可满足一系列光刻胶处理需求,其中包括用于大涂层的标准4 x 5英寸卡带设计、用于较小涂层的标准E-max卡带以及用于高精度超高通量的高级10卡带。内部和外部晶圆处理配件都可用于提高能力和方便。270S有一个先进的化学控制系统,允许用户精确控制抵抗浓度、温度、时间、旋转和冲洗速度以及其他参数。独特的晶片提升机构是标准的,允许用户根据需要将整个晶片升降到位。旋转和/或冲洗速度可以在面板上编程,也可以使用直接驱动电动机提供独立、均匀的旋转速率。270-S配备了多种安全功能,包括按转和按需联锁开关、洗涤罐和自转罐溢流传感器,以及水库超过一定水位时的自动关闭装置。板载氮气机还有助于降低氧化风险,闭环温度控制工具消除局部热点和表面温度变化。SEMITOOL还包括先进的诊断系统,这些系统监视重要的温度、速度和其他操作变量。SEMITOOL 270S光敏材料是现代半导体制造的可靠、高效的工具.SEMITOOL 270-S具有先进的安全和化学控制系统、严格的旋转和冲洗功能以及机载监控功能,为您的苛刻生产需求提供了最高质量的光刻胶加工。
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