二手 SEMITOOL 270S #293811484 待售

SEMITOOL 270S Photoresist Equipment是一个技术先进的系统，旨在在蚀刻和图案化硅片时提供精确度和准确性。该单元由两个主要组件组成：工艺室和发电机。该工艺室装有两个先进的蚀刻/剥离模块：HM/CMP模块和光刻剥离模块。这两个模块均采用专利技术,旨在提供卓越的过程控制、可重复性和先进的结果。HM/CMP模块提供高精度、高可重复性的蚀刻、沉积和抛光功能。它由一组复杂的组件组成,包括5轴晶圆载波、双频电容拾取传感器、高反应性蚀刻气体分配机和可调气流/压力环境。光刻剥离模块包含先进的数字曝光工具、高分辨率的数字聚焦资产、紫外线（UV）源以及热加热装置。它旨在为表面光刻和深层图案蚀刻提供可靠、准确的曝光和蚀刻能力。SEMITOOL 270-S Photoresist Model的发电机部件设计用于提供高速、低噪声的电压,非常适合与工艺室进行湿化学处理。它具有多种电源选项,包括直流和交流电压,以及对PC接口控制的支持。设备的发电机还设计有精心的屏蔽，提供卓越的隔音和更高的精度水平。总体而言，270S光刻系统是一个可靠、强大、精确的工具，用于蚀刻和设计当今最先进的硅片。其先进的过程控制、高可重复性和卓越的精度使其成为最苛刻的应用程序的理想工具。