二手 SEMITOOL 270S #293811564 待售

SEMITOOL 270S
製造商
SEMITOOL
模型
270S
ID: 293811564
晶圆大小: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
SEMITOOL 270S是设计用于半导体制造的光刻设备。它是一个自动化系统,用保护膜覆盖晶片。该装置利用机器人手臂施加光刻胶,并具有多种特点,以确保均匀的薄膜厚度和覆盖范围。控制机器人手臂的SERVOPAC机器软件用于对机器人的运动进行编程,以确保适当的薄膜厚度。该软件还具有一些功能,可以对机器人的运动进行微调,用于精确的应用和在操作过程中监测机器人的性能。该工具能够处理直径达300 mm的晶片,并采用模块化设计,便于维护和升级。它还有一个双晶片对准板,设计用于快速准确对准晶片,以帮助确保均匀的薄膜厚度。这为资产提供了半导体制造所需的精确度。SEMITOOL 270-S还具有有助于防止污染的"真空锁"。这是一个安全的功能,帮助保持光刻胶和其他化学物质的腔室,而晶圆正在处理。用于制造真空锁的泵是可靠的,并提供一致的真空水平。该模型还包括一个温度控制器,以保持最佳工作温度,防止任何热降解的光刻胶。温度控制器有助于确保薄膜厚度和覆盖率均匀,还有助于保护设备免受快速冷却造成的损坏。270S使用先进的LED照明设备在处理过程中照射光刻胶。这有助于确保持续的曝光水平,并有助于确保光刻胶的准确结果。最后,系统具有紧急关机按钮和警告灯等安全功能,有助于确保操作安全。这些功能有助于保护设备和人员免受不当使用造成的损坏。总体而言,270-S是设计用于半导体制造的可靠有效的光阻装置。
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