二手 SEMITOOL 280 #9116704 待售

SEMITOOL 280是为先进半导体应用而设计的光刻设备。它提供了制造用于光刻和沉积薄膜的晶圆面膜的工具和技术。该系统能够处理直径不超过8英寸的基板，并且能够以同样的精度处理硅、和砷化的晶片。该单元由两个部分组成：电阻处理器和沉积机.抗蚀剂处理器本质上是一种自旋涂层、除污剂和烤箱-全部采用一种工具-可从硅片中清洁、涂层、烘烤和剥离光致抗蚀剂。抗蚀剂处理器是自动化的,并与沉积工具集成在一起,该工具可精确控制用于在晶圆表面上构建的结构的薄膜的沉积。280是为高通量生产而设计的，同时提供了无与伦比的膜厚度均匀性。资产采用先进的运动控制技术来确保晶圆的均匀覆盖.用于控制模型的软件允许控制底物旋转、掺杂剂浓度、电镀电流以及其他对于精确沉积控制至关重要的参数。该设备具有多种选项,便于针对特定应用程序进行定制。它能够进行诸如电子束/热/光学光刻、原子层沉积、聚类和湿化学等先进工艺。此外,它还具有集成的离线过程控制支持,以确保在装运前完成和验证所有必要的测试和测量。SEMITOOL 280非常适合高端半导体器件，是大批量生产的可靠选择。它的自动化系统允许操作员尽量减少错误和浪费，因为它精确地控制沉积过程的各个方面。该单元提供了最佳晶片处理，通过先进的运动控制获得了一致的结果，确保了薄膜厚度的无与伦比的均匀性。这使得机器在高端生产中的使用效率高、成本高。