二手 SEMITOOL 280S #151758 待售

SEMITOOL 280S
製造商
SEMITOOL
模型
280S
ID: 151758
晶圆大小: Up to 8"
Spin rinse dryer, up to 8".
SEMITOOL 280S是一种光致抗蚀剂设备,用于开发光致抗蚀剂薄膜并将其应用于基板。它是一个高性能系统,旨在满足最苛刻的光刻要求。该单元由几个组件组成,包括一个循环托盘、一个旋转湿表和一个液晶屏显示器,以及两个基板定位阶段。此外,280S还包括几个软件模块,以帮助优化光刻胶处理和执行详细分析。作为湿盘的再循环托盘可同时容纳多达四个基片盒,从而实现高效处理。托盘固定并轻轻旋转每一个基板,有助于光刻胶薄膜的均匀应用。LCD显示器提供了一个用户友好的界面来控制机器,允许精确调整抵抗应用和开发参数。此外,该显示器还提供各种分析数据和液体光刻胶的视觉跟踪,用于质量控制。此外,基板定位的两个阶段有助于元件的精确对准和放置。这些级可以在三维平面内进行调整,并采用高分辨率传感器以确保精确放置。SEMITOOL 280S还包括各种软件模块,以最大限度地提高结果并确保一致性。PathTracer是一个可用于创建优化批次胶片的程序,而QFlo是一个分析软件套件,旨在随时间推移测量和监控光刻胶的性质。ECDB模块允许进行详细的数据库管理,包括对特定基板的设置进行性能跟踪和自定义。光刻工具配备了创造精确和可重复结果的必要功能,使其适合许多应用,包括MEM、LED和IoT设备制造。此外,它是一种紧凑且易于使用的资产,是实验室、质量控制和研究环境的理想选择。
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