二手 SEMITOOL 280S #9123938 待售

SEMITOOL 280S光刻设备是针对低温下表面的高分辨率蚀刻和离子束蚀刻而优化的先进平台。它为用户提供了一套高级功能,以提高高精度功能处理的性能和准确性。280S光致抗蚀剂系统是建立在一个真空加工室，它配备了一个多室电阻色谱（MCR）离子束沉积单元。这样就可以生产形态覆盖范围均匀、质量优良的超薄高分辨率薄膜。MCR用于确保工艺稳定、可重复，并能精确控制薄膜厚度。SEMITOOL 280S还配备了一系列软件、控制器和驱动程序，以确保完全控制离子束电流和变化的离子能，以及一系列光学辅助电极控制。这样可以精确对齐多层结构,并可以精确蚀刻特征尺寸。该机温度和压力设置范围很广，从1.1 bar和200 °C的低点到13 mbar的高点，最高可达400°C。这允许工具在一系列不同的应用程序中操作,包括那些在蚀刻过程中需要较高温度的应用程序。280S还提供了最小化的微粒生成和氧化，这可以提高加工表面的质量。SEMITOOL 280S得益于一系列旨在帮助减少蚀刻过程中可能存在于室内的污染物数量的电池。这为用户提供了一个更可靠的清洁环境,同时允许更好地控制暴露的功能。此外,该资产还具有一系列易于使用的维护功能,有助于提高可维护性。总之，280S光致抗蚀剂模型是针对低温表面的高分辨率蚀刻和离子束蚀刻优化的先进平台。其广泛的温度和压力设置、MCR离子束沉积设备、光学辅助电极控制和有助于减少腔室污染的电池使其成为生产高质量、精确蚀刻特征的理想选择。