二手 SEMITOOL 32AMP #9359482 待售

SEMITOOL 32AMP
製造商
SEMITOOL
模型
32AMP
ID: 9359482
Hydrozone system.
SEMITOOL 32AMP光敏设备是一种半自动抗蚀剂处理系统,设计用于200毫米晶圆的批量处理。它适用于大多数常见的光刻胶,并提供全场和光斑处理。32AMP提供了多种功能,非常适合半自动抗蚀剂处理。它配备了计算机控制的穿梭臂,可重复性和准确性,以及20个不同的储水池,用于光致抗蚀剂的溷合和储存。这样可以预先溷合多种不同的光反应物,确保快速的周转时间和一致的结果。该装置能够一次处理16个200毫米晶片,并提供全场和光斑大小分辨率。这台机器的设计符合人体工程学和用户友好.它是可移动的,脚部可调,易于访问所有系统组件进行维护。所有组件都设计为易于从设备的一侧访问,并且可以在不打开设备的情况下进行调整。用户界面包括彩色液晶触摸屏,可快速设置和轻松控制,以及预设配方数据库。SEMITOOL 32AMP光刻工具采用最先进的节能设计,具有低噪声风扇、干泵资产和降低的排气要求。该单元还包括智能监控模型,确保设备尽可能高效运行,减少用户频繁干预的需要。集成轨道系统设计既可靠又坚固。它采用不锈钢结构建造,增加了耐用性,可以处理高达半英寸厚的晶片。滚筒和导轨是为精确运动而设计的,并设计成最大限度地减少颗粒脱落。32AMP光敏装置是半自动光敏处理的理想解决方桉。凭借其最先进的设计、用户友好的界面和可靠的轨道机,该工具能够提供一致的结果,并且用户干预最少。
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