二手 SEMITOOL 4300 #9116706 待售

製造商
SEMITOOL
模型
4300
ID: 9116706
Spin rinse dryer Rinseware controller.
SEMITOOL 4300光刻设备是一个最先进的平台,旨在协助生产先进的集成电路。它是一种高通量的单晶片工艺,旨在提高光刻胶沉积、支撑、自旋涂层的效率和开发广泛的基材。该系统提供一系列工艺选项,最高可用温度为155 °C。它可以用来涂覆多种基材,包括硅、玻璃和塑料的晶片。该单元的特点包括0-1200 RPM旋转速度、高达300 Torr极限真空压力、温度均匀度+/-5°C。机器有一个双口袋工作流,在第二个口袋中有一个precoat cycle,允许按顺序执行多个进程步骤。最先进的工艺能力大大减少了预制工艺所需的工艺步骤数量。它还消除了对串联温度控制器的需求,从而消除了在运行时对其他流程步骤的需求。该工具的腔室旨在确保工艺的可重复性和防止交叉污染。它是由轻质铝制成的,在较长的加工时间内具有较高的保温性能和防止氧化作用。4300由触摸板控制面板控制,该面板提供各种过程控制和过程分析工具。用户友好的界面使得各种光刻过程易于编程和设置资产。SEMITOOL 4300是光刻胶制造的可靠高效工艺,是高通量工业制造应用的理想平台。通过利用模型的过程控制功能,确保过程的准确性和一致性,从而确保产品质量最高且产品产量一致。凭借其用户友好的界面,易于设置、使用和维护。
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