二手 SEMITOOL 4300S #25304 待售

SEMITOOL 4300S
製造商
SEMITOOL
模型
4300S
ID: 25304
Single stack spin rinser dryer, 8" Roll around configuration Includes: Class 10 Poly 4 bolt or quick Disconnect rotor N2 rear seal.
SEMITOOL 4300S是为半导体工业设计的光刻设备。它是一个全自动平台,用于在晶片上精确、精确地沉积薄膜光刻胶。光阻系统是一种灵活、方便用户的装置,可提供精确可靠的性能。该机采用先进的抗蚀剂成像装置,利用多种喷嘴实现高精度、均匀和均匀的涡旋沉积。涡流被搅动以确保均匀、一致的液滴大小和形状。这确保了即使是最细腻的光刻剂的精确和可重复的涂层。精确稳定的沉积速率保证了光刻胶层在晶片前后两侧的厚度均匀。该工具具有强大的精密光源,具有集成的多层遮罩和光学器件,能够对光刻胶层进行精确的图样处理。硬性滤光片和软性滤光片均可用于确保光刻胶的精确曝光。这种正在申请专利的先进喷嘴设计和动态气流技术使曝光后烘烤(PEB)能够精确且可重复,从而防止了诸如粘接和分层等常见的晶圆问题。SEMITOOL 4300 S还附有集成的屏幕分析资产。这种先进的特性可以有效地筛选光刻胶层,以确保均匀的沉积和曝光。该技术包括在晶片表面上使用非侵入性扫描,从而能够检测光刻胶层的微小变化。4300S是为最大限度的用户灵活性和可靠性而设计的。这样可以快速设置、清洁和维护模型,使其能够处理各种过程调整和修改。这种先进的光敏设备为半导体工业中的任何光敏沉积过程提供了高效、精确的解决方桉。
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