二手 SEMITOOL 4300S #293608837 待售

SEMITOOL 4300S是为先进的微电子制造应用而设计的高端光刻设备。它是一个完全自动化的涂层和开发系统，可以处理各种各样的晶圆尺寸和工艺。该单元还包括正负光刻胶的自动膜厚度控制。它加载了高级功能以优化过程控制、刀具正常运行时间和产量。SEMITOOL 4300 S机器可精确控制任何基板表面的薄膜厚度,包括玻璃、硅和石英。其先进的光学干涉仪在晶圆级提供绝对薄膜厚度，并在几分钟内进行精确的厚度测量。该工具还集成了反向扫描模式、多通道加湿器和基于光纤的测量技术，以确保可重复性、准确性和可重复性。4300S带有一个18步200毫米可编程晶片盒式磁带，可确保晶片以适当的方式加载、清洁和曝光。它配备了具有专利喷嘴技术的耐化学喷雾器，可提供精确和均匀的涂层参数。该资产还包括一个专有的四卷挤压模块，用于精确控制腔室压力和流量，以确保均匀的薄膜厚度和高产率。4300 S还配备了先进的过程控制软件,其中包括用于监视模型参数的硬件监视器、用于自定义和更改过程参数的配方编辑器以及用于跟踪生产历史和统计数据的生产经理。集成的自动缺陷检测设备通过监测光刻胶薄膜和基板表面的眼睛看不见的异常来减少污染。最后,SEMITOOL 4300S带有符合人体工程学的设计,可方便访问和简化维护。它的特点和功能确保了高效的加工和可靠的生产，同时防止意外污染和尽量降低成本。事实证明，该自动化系统在微电子产品的组装过程中可产生高重复性、低交叉污染、良好的光刻性能和提高的生产率。