二手 SEMITOOL 4300S #71200 待售

SEMITOOL 4300S是一种光刻涂层和开发设备，利用先进的专业技术来实现最高的分辨率和最小的特征尺寸。它非常适合生产半导体器件，特别是那些需要非常细的线宽的器件。该系统设有两个标准的气相沉积室，以及用于连接外部装置的多个端子，如下游烘烤炉或额外的气相沉积室。最多可以增加四个吊舱，使单位总共有六个房间。这允许涂覆各种表面尺寸。该机还有两个晶圆传输系统，带有两个独立的无刷直线电动机，用于在腔内精确定位晶圆。该工具利用具有基于Web的用户界面的自动化软件控制资产。这允许用户通过任何连接互联网的设备来控制模型，还可以实现远程监控。此外，该设备还配备了先进的数据记录和报告软件，使用户能够广泛分析每个晶圆过程。对于基板加热,该系统包括预置加热元件和卤素灯,可精确控制温度和加热速率。一旦晶片进入腔室，就使用自旋涂层方法应用光敏涂层。然后将样品基板加载到旋转头上，并用光刻胶旋转涂层。接下来是一个多步骤的开发过程，其中用显影剂或蚀刻剂去除了暴露的光致抗蚀剂。经过显影后，剩余的光致抗蚀剂用干净的溶剂从底物中除去。对于更高的分辨率和更小的特征大小,该单元可与两步双级COBEX进程结合使用。这是由第一个针对高分辨率优化的长期旋转级工艺组成,然后是用于特征小型化的短期旋转级工艺。总之，SEMITOOL 4300 S是一款功能强大的光刻涂层和开发机器，旨在满足高端半导体器件制造的需要。它的高级功能集和自动化控制工具为用户提供了顶级分辨率、小型化功能和易于使用的操作。