二手 SEMITOOL 4300S #9221068 待售

SEMITOOL 4300S是一种光阻处理设备，设计用于去除薄膜和半导体基板，并能够生产集成电路（IC）。它是经济高效、高批量、高精度生产的理想平台。该系统由三轴步进电机和定向真空晶片负载站组成。晶片加载到步进电机沿x、y和z轴移动的载波上。真空泵将晶片拉到工作站上，然后电动机将晶片通过工艺步骤移动。SEMITOOL 4300 S配备了精密抵抗膜涂抹器，采用了可编程的旋转速度和UHV涡轮泵。这保证了光刻胶膜在晶片表面的均匀沉积。精密的自旋转速控制进一步提高了沉积精度，优化了施加在晶片上的扭矩。光学计量单元用于监测光敏胶片在基板上的沉积。测量晶片的厚度，反馈给涂抹器，根据所需厚度调整转子的转速。热板是可调的，允许设置蚀刻时间和温度等过程变量。转子有一个冷却机，以确保光刻过程中的温度均匀。该工具还包括一个废物室，用于收集使用过的光刻胶薄膜。4300S是一种用途广泛的资产，可用于各种光刻工艺应用。它可靠稳定，能够一致生产高精度IC。该型号还提供了卓越的性价比，使其成为生产线需求的绝佳选择。