二手 SEMITOOL 440 series #84155 待售

SEMITOOL 440系列是一款光刻加工设备，提供卓越的光刻性能和吞吐量，结合可靠的精度和可重复性。该系统设计用于一系列光刻应用，如集成电路（IC）生产、晶体管级微电子和沉积/蚀刻工艺。它具有先进的技术、增强的人体工程学和直观的操作,可实现高效、经济高效的处理。440系列利用专有的抗蚀剂条带技术实现了最佳的基板覆盖、均匀性、曝光性、显影性和冲洗性能。主动的"光学调平器"单元监控曝光和开发时序，以保持准确性和可重复性。该机还包括一个双石英板曝光室和一个高通量的自旋处理器，允许快速和准确的处理。独特的"反应斜坡"特性使旋转速度更快，停留时间更短，先进的喷嘴设计支持高速率冲洗水射流。该工具还配备了获得专利的"声波脉冲"校准资产，以确保针对不同应用的抵抗带操作的正确参数。它配备了一个完全可调的平台，允许快速设置，并且向后兼容现有的SEMITOOL系统。集成的远程处理控制使操作员能够远程诊断关键型号状况,并根据需要调整设置。SEMITOOL 440系列设备设计用于清洁环境中的操作。其卓越的配电系统确保了快速可靠的运行，不会因电源的变化而导致性能下降。该单元还配备了冗余安全功能，包括熔融机械和联锁安全控制以及温度和湿度传感器。440系列优越的设计和工程使其成为现代光刻应用的理想解决方桉。它提供了最大的吞吐量、性能和可靠性,实现了更高的精度和可重复性,从而节省了时间和金钱。