二手 SEMITOOL 440S #151783 待售

SEMITOOL 440S
製造商
SEMITOOL
模型
440S
ID: 151783
晶圆大小: Up to 4"
Spin rinse dryer, up to 4".
SEMITOOL 440S是一种光阻设备,设计用于处理具有高精度和重复性的光阻。该系统由一个基本单元、一个五轴表、一个激光扫描仪和一个冲洗站组成。基本单元包含初级电源和真空源、集成控制器以及显示显示器。五轴表提供了高达100 mm x 200 mm的光刻胶的精确配准和处理。激光扫描仪可以精确扫描分辨率高达100 MHz的光刻胶图样。冲洗站采用专利喷泉技术,提供均匀、可重复的光敏冲洗。440S设备具有多种功能,可提供广泛的光刻处理功能。利用激光扫描仪可以在广泛的温度和高度范围内精确跟踪和定位光刻胶。此外,一台独特的独立可调滚子的机器允许高精度对准和定位光刻在五轴台上。集成自动化允许大型工具的无人值守操作,用于扩展运行。集成控制器提供了一系列处理功能。控制器的功能包括存储作业中的数据和复制产生相同结果所需的过程参数。SEMITOOL 440S结构中还包括大量的安全和警报系统,为设备和人员提供保护。440S为客户提供高精度和可重复性的光敏处理。SEMITOOL 440S采用先进的材料设计,可提供多年的可靠服务。作为SEMITOOL对客户满意度承诺的一部分,全球服务工程师网络可在需要时提供帮助。440S光刻材料是任何光刻实验室的宝贵补充。
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