二手 SEMITOOL 440S #9137505 待售

SEMITOOL 440S是一种光刻设备，设计用于半导体制造中的高精度、高通量的掩模处理和关键的湿蚀刻操作。该系统最适合用于需要严格清洁和精确处理的情况,例如高级技术的超细线定义。该单元包括一个闭环双控制器平台体系结构,它驱动两个独立的设备-掩模对准器和湿处理器模块。蒙版对齐器用于在处理过程中将光掩模特征与基板精确对齐,而湿处理器模块负责湿蚀刻过程。掩模对准器由静电烤盘和可调节功率的紫外线激光器构成，以确保光掩模特征与基板精确对准。它可以处理从平板到三维表面的广泛基板，并具有10英寸的基板尺寸。烤盘用于在光掩模曝光过程之前使光刻胶硬化。湿处理器模块负责一系列湿蚀刻操作，包括湿蚀刻、氧化物蚀刻、蒸气蚀刻、清洁和底漆。它由一个两级石英工艺室构成，利用化学和物理过程来达到预期的蚀刻和清洁效果。机器的自动化和控制功能基于SEMITOOL Command Software Suite,它提供了复杂的过程和对齐控制。该软件包括实时曝光特征边缘监控、高精度对准控制、可调功率激光控制、实时过程监控和在线过程诊断等功能。该工具具有确保可靠和可重复性能的自我校准功能,以及允许定制设计工艺配方的可编程蚀刻工艺窗口。该资产还包括警报、门锁和紧急停止按钮等综合安全功能，以保护操作员和设备免受危险条件的影响。总体而言,440S是专门为高精度和高通量掩模处理操作而设计的先进光刻胶模型。它具有易于使用的用户界面、复杂的过程控制功能以及确保可靠和可重复性能的自我校准功能。这使得它非常适合在高清洁和精密处理操作中的高级技术的超精细线定义。