二手 SEMITOOL 460 series #84151 待售

SEMITOOL 460系列是一款光刻设备，配备了先进的晶圆轨道技术和自动化前端处理的专有软件。该系统设计用于严密的过程控制，具有高精度级和单晶圆射频传输。460系列光刻系统主要用于光刻、热处理和切片转移等过程。该单元包括一个完全可配置的机器人，使用户能够自定义晶圆方向和基板尺寸，从而实现快速、轻松的设置。该机器还具有内置的错误检测和诊断功能,可以实时控制进程。此外，该工具能够跟踪进程的进度，并通过用户界面显示性能数据。该资产具有独特的超精确非接触式分配技术，可实现现代光刻胶和其他几乎任何特征大小或形状的最高精度交付。该模型还配备了旨在减少位置误差的高精度索引阶段。这有助于确保严格的过程控制。SEMITOOL 460光抗蚀剂设备也有几种最先进的选择，如电动卡盘、石英涡轮加热器、涡轮鼓风机、粒子扫描仪和等离子体辅助。该系统还具有先进的保护系统，以确保敏感基板的安全。该装置旨在为用户提供可靠、准确的光刻胶解决方桉。SEMITOOL 460系列是一种精密的光刻胶解决方桉，使用户能够实现高产和提高产量。该机器设计用于可靠、准确地输送光刻胶，使用户能够优化其工艺，以实现最小的变化和严格的控制。此外，该工具还配备了一些高级功能，以实现高精度性能和最大的安全性。