二手 SEMITOOL 460S #9194050 待售

SEMITOOL 460S Photoresist Equipment是一种高科技设备,旨在允许用户在基板上沉积各种抗蚀剂或材料,以创建具有特定光学特性的层。460S是一个批处理系统，意味着可以将多个基板加载到单元中，并在一次操作中进行处理。批量最多限制为24种基材，但最小尺寸为1种。SEMITOOL 460S机被设计为可以接受广泛的抗蚀剂材料，包括光聚合液体抗蚀剂、电子束抗蚀剂和涂层抗蚀剂。刀具的灵活性减少了机器的设置时间，并允许使用各种过程配方，允许用户匹配其应用程序的个别需求。460S利用先进的热控制技术来确保整个结构及其过程的温度均匀。通过闭环反馈过程调节温度,确保在程序运行期间准确保持温度。此外,闭环反馈控制还允许随着时间的推移调整或调整温度,从而使用户能够进一步完善其工艺参数。SEMITOOL 460S使用精密自动化机器人和可移动平台来定位基板。该平台采用7轴设计，带有可编程定位器，允许基板精确定向。此外，平台设计实现高速定位，并配有真空资产，避免在过程中发生任何潜在碰撞。460S型号配备了一种高度灵敏的光学设备，设计用于检查过程中抗蚀层的厚度。该系统利用红外单元，允许用户快速准确地测量层厚度，减少时间和工作量。SEMITOOL 460S Photoresist Machine是一种理想的解决方桉,适用于需要在大批量基板上进行精密涂层的用户。此工具提供了极大的灵活性,同时仍为用户提供了实现所需最终结果所需的准确性和控制。460S是需要高精度抗蚀剂和其他材料涂层的工业和研究应用的最佳解决方桉。