二手 SEMITOOL 460S #9229852 待售

SEMITOOL 460S Photoresist Equipment是为半导体制造业的湿处理应用而设计的自动化工具。它能够处理多种光致抗蚀剂材料，包括正负式抗蚀剂和光致定义聚合物。该装置有一个ProFlex™ II液体模块，它提供了一个单罐浸入式光刻溶液晶圆处理。它还采用先进的安全功能和过程控制技术，以确保一个可靠和可重复的过程。460S配有高性能模式发生器，能够产生各种光敏配方，并将其保存在内存中以备将来使用。此外,由于它的四垫圈双车道技术,它能够使用多达四种不同的晶圆类型执行多个同时过程。这有助于促进高度自动化的过程,从而提高吞吐量并提高晶圆产量。SEMITOOL 460S系统拥有两个独立的过程室，即发展室和脱衣舞室。这两个腔室采用完全温度控制的循环浴，以确保光刻胶能够抵抗光线照射，并在整个过程中保持一致的温度水平。此外，腔室的设计通过消除被清洗的晶片在隔壁上溅出溶液的可能性来防止两个腔室之间的交叉污染。460S还包括一些可选的附件，例如阴影掩模模块，它允许在晶片上快速、精确地放置光刻胶图样，以及篮子转运站，它允许单独抽出盒式磁带和地板。该单元还包括先进的过程控制软件，用于监测和记录整个过程中的情况。最后，该装置具有多种功率水平，以确保所有光敏材料的最佳湿法处理。综上所述，SEMITOOL 460S Photoresist Machine是一种先进的工具，旨在提供各种正负光刻材料的自动湿处理。它具有先进的工艺控制软件，为稳定的温度再循环浴池，以及各种额外的功能和附件，以确保一个可靠和可重复的过程。