二手 SEMITOOL 470 D #121593 待售

SEMITOOL 470 D是一种光刻设备，设计用来为各种基板制造防护涂层。该系统利用一种称为深紫外线的特殊类型的光束来分解基板表面的纳米级材料。通过分解这些纳米级材料，可以将微米级的光致抗蚀剂层高精度地应用于基板上。470 D是一个完全自动化的单元，能够实现非常精细的光刻涂层。伺服辅助机构配合SEMITOOL软件提供了10微米的分辨率和2微米的垂直位移精度。SEMITOOL 470 D还配备了能够涂覆200毫米宽以上基板的大型工作区。470 D的另一个好处是它能够精确控制光致抗蚀剂材料的毯层，允许均匀的厚度和完美的附着在基板上。SEMITOOL 470 D还为用户提供了广泛的后处理选项。其内置的Dynamic Focus补偿算法赋予用户精确控制光刻胶层几何形状的能力，从而提高了预开发质量。该机还提供了一种最优的均匀模式控制算法，使用户能够调整其基板处理结果的动态范围。最重要的是,湿度传感器可以让用户更好地了解其底物的环境,而额外的聚合物模块可以与470 D的光致抗蚀剂工具集成,从而进一步控制沉积特性。SEMITOOL 470 D由于其自动化但精密的涂层工艺而在竞争中脱颖而出。这一资产创造出具有微米级精度和动态后处理工具的均匀涂层，以达到最佳均匀性。470 D设计用于以极高的精度覆盖几乎任何尺寸和形状的基板。这使得它成为一个理想的模型，任何人希望应用单层超薄的保护涂层到他们的基材。