二手 SEMITOOL 470 series #84150 待售

SEMITOOL 470 series
製造商
SEMITOOL
模型
470 series
ID: 84150
rinser/dryers.
SEMITOOL 470系列是一款光刻设备,设计用于提供具有卓越工艺能力的光刻应用。该系统能够处理各种基材和光刻材料,为各种光刻要求提供最佳效果。该单元由模块化湿处理平台组成,可配置用于包括晶圆、pc板和离散组件在内的各种基板。该机配备了自动化的刀具交换、机器人基板和晶圆处理程序,以及行业领先的软件套件,允许操作多个处理任务。该工具具有最大的灵活性和可扩展性,使其能够满足用户的特定需求。该资产设有一个温度控制的潜水/耐热盒式磁带站,一个临时处理盒式磁带,并提供最多两个加热至270 °F的浸泡和喷雾冲洗罐。该模型采用了先进的半潜伏性/抗性化学输送技术,并提供了一个可选的化学监测设备,以确保适当浓度的化学溶液。470系列还提供了带有集成条形码扫描仪的高级光刻式生命周期管理解决方桉。该系统的核心工艺能力包括预烤、预涂层、后涂层步骤、后冲洗、带状和带状冲洗。此外,该单元还可以补充工具和附件,以定制适合特定应用程序需要的流程。该机还通过其操作软件工具为用户提供高级流程控制和报告功能,允许对流程变量进行监控和流程参数的调整。该资产提供了广泛的功能和选项,从材料处理、配方脚本和数据日志记录到生产率控制和跟踪。总体而言,SEMITOOL 470系列光刻胶模型为光刻应用提供了先进可靠的解决方桉。它灵活、可扩展的设计使其成为满足各种光刻要求的理想设备,为用户提供无与伦比的过程控制和性能。
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