二手 SEMITOOL 470F #178414 待售

SEMITOOL 470F是由SEMITOOL, Inc.设计的光刻处理设备。该系统用途广泛,能够处理各种尺寸的晶片,直径从200毫米或8英寸到300毫米或12英寸不等。470F是一个多合一的独立装置，包括抗蚀站、洗涤站、干式站、旋转站和Mo-Lift，将晶圆从机器中取出并放置在盒式磁带托架中。抗蚀站具有先进的专利技术,可确保对温度、压力、流量、旋转速度和时间等参数进行精确控制和精确监控。该腔室能够控制高达150°C的温度和高达600 rpm的自旋速度,使其能够应用各种光刻胶并以高通量工作。该室还设有一个SEMITOOL超清洁4级洗涤路径为优秀的光阻和抗渣除去。自旋站兼具旋转速度和时间控制功能，自旋速度可由200转调整至600转，使其具有应用厚度和性质各异的光刻胶的能力。此外,Mod-Lift还提供精确的晶片放置,使晶片能够快速安全地从刀具中转移出来。它还配备了额外的安全联锁功能，以防止未经授权的访问。SEMITOOL 470F的设计允许从晶片加载到晶片卸载等简单可靠的过程设置。它还具有基于Windows的易于使用的图形用户界面、专用配方和数据记录资产,以及允许跟踪维护历史记录的设备管理模型。设备还具有完整的网络功能,允许远程访问和故障排除。总体而言，470F是一种用途极为广泛、可靠的光刻胶处理系统，易于使用，能够快速容纳各种各样的晶圆尺寸和光刻胶。SEMITOOL 470F具有先进的技术和直观的用户界面,是光刻胶片加工的理想选择,能够处理各种不同厚度、层和蚀刻轮廓的晶片。