二手 SEMITOOL 470F #9268571 待售
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SEMITOOL 470F Photoresist Equipment是一种高性能、先进的湿处理系统,旨在处理半导体和溷合电路制造过程的严格要求。该设备配备了一个可扩展和扩展的专用平台,可为从平板显示器到SOI晶圆制造的各种应用提供众多的浴池、模块和相关外围设备配置。此外,该机器标配高级软件功能,提供广泛的过程控制、监视和报告功能。470F光刻工具建立在可靠的可扩展性和优越的性能早期型号.它能够处理所有标准的光刻胶工艺，如旋转涂层、喷涂涂层、预烘烤、曝光、后烘烤和开发，以及复杂的多步骤工艺。该资产利用超过25个单独的浴池来完成各种工艺，包括溶剂、冲洗、烘烤前、烘烤后、冲洗显影剂和防反射涂层。为了支持多种配置和配方,SEMITOOL 470F采用了标准化的模块化设计,可快速轻松地交换浴池和模块。该模型还具有直观的触摸屏界面，用于控制、存储和监控配方参数和流程结果。触摸屏界面显示详细的温度、搅拌和化学信息,并允许自定义所有参数设置。这种直观、交互式的触摸屏界面为用户提供了快速、方便的实时过程信息访问，确保了最佳结果和严格的制造公差，同时为生产过程增加了价值。高性能软件嵌入到470F中,可轻松实现数据驱动的过程监视和控制。该软件旨在为所有设备流程提供规格、警报、诊断和报告。此外,软件的可靠报告还提供了有关流程参数、流程状态和流程历史的详细信息。可以快速轻松地分析这些信息,以帮助优化生产过程,节省时间和金钱。SEMITOOL 470F经过量身定制，能够以最小的技术人员交互作用高效有效地处理各种光刻过程。该系统能够执行复杂的多步骤过程，包括旋转涂层、预烘烤、曝光、后烘烤和开发。强大的软件为用户提供数据驱动的过程监视和控制,同时确保严格的生产公差。最后，直观的触摸屏界面提供了快速、方便的实时流程信息访问，允许用户定制和优化生产流程。
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