二手 SEMITOOL 470S/L #9099016 待售

製造商
SEMITOOL
模型
470S/L
ID: 9099016
晶圆大小: 6"
Spin rinse dryer, 6".
SEMITOOL 470S/L Photoresist Equipment是半导体工业中用于加工半导体晶片的可靠且成本效益高的工具。它是一个使用干法和半湿法加工的抗蚀剂加工系统系列。该470S/L用途广泛,能够为各种客户需求提供常规和专业晶片处理。它设计用于研发和生产环境。该设备具有多种功能,包括与大多数一室和两室溷合浴的兼容性、快速轻松的晶圆处理以及全自动温度和旋转速度控制。该470S/L是一个强大的光刻机提供膜厚度控制高达1000纳米。其精密设计的晶片保持机构使抗蚀剂均匀分散在晶片表面上,其先进的热镀技术提供了快速、准确和可重复的晶片调平。热板的温度可调节至300摄氏度,并提供精确的晶圆对准。此外,该470S/L还具有自上而下的旋转选项,可用于湿蚀刻和旋转烤箱功能。该工具允许在较快的工艺周期时间(<20秒)下实现高生产率吞吐量,并提供了使用热板和旋转烘烤自动化的选项,以便更快地达到目标温度。这些特性使该资产成为低批量生产测试的一个不错的选择,许多客户发现其快速的过程时间是开发快速、准确的过程周期的关键。该型号也非常可靠,维护要求低,设备停机时间最短。它在过程控制和操作操作方面的卓越表现也减少了昂贵和耗时的设备维修。该470S/L还具有多种安全功能,如液体废物箱和自上而下的自旋安全。该470S/L是制造半导体晶圆的重要工具,可大大节省成本。凭借其精密的工程设计和强大的工艺控制选项,以及高性能和低维护要求,它不仅适用于大批量生产,而且还为研发提供了可靠、经济高效的解决方桉。
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