二手 SEMITOOL 470S #103617 待售

SEMITOOL 470S是一种先进的半导体加工光刻系统.它用于制造集成电路（IC）板和其他电子设备。该系统采用热光技术在晶片上涂覆光阻，以编程芯片布局和特征。这个过程从晶片组装阶段开始，然后是光刻曝光和旋转涂层。在曝光期间，在晶片和光致抗蚀剂之间放置一个遮罩，然后光线通过模型。抗蚀剂在光线照射的区域有选择地暴露，而未曝光的抗蚀剂在光线被阻挡的区域被去除。光刻曝光之后是涂层步骤，晶圆放置在SEMITOOL 470 S的热光涂层室中。该腔室可精确控制热特性、温度和均匀性，从而实现一致、可重复的光刻沉积。腔室有多区加热机构，有一个或多个风扇辅助选项，以增强稳定性。最后，在470S的固化炉中固化光刻胶。该烤箱具有先进的精密控制，以确保光刻胶得到适当的固化和硬化。此外，烤箱可以编程为多种配方，具有预先设定的温度和停留时间。总体而言，470 S是一种先进的光刻胶系统，用于产生紧密的线宽和高图桉分辨率。它的精确度、可重复性和热控制使得能够可靠地制造IC板和其他先进的电子设备。