二手 SEMITOOL 470S #151764 待售

SEMITOOL 470S是一种光刻纸条设备，设计用于支持广泛的表面制备、光刻和抗加工应用。该系统利用创新技术确保所有光掩模对准的精度为+/-2微米。该装置具有模块化的四轴运动能力,可满足各种基板配置,并具有可编程的四头松开器/回收器,在处理直径达300 mm的晶片时提供灵活性和精确度。SEMITOOL 470 S提供了全方位的抗蚀剂处理功能,包括手动或自动抗蚀剂旋转、分拆和开发具有精确对齐和均匀性的抗蚀剂。该机器提供高达450°C的热板和软件功能,以控制温度、时间、压力和速度。该工具还采用了创新的局部冷却技术,将热板的冷却效果限制在需要均匀冷却的区域。470S由一个软件包驱动,该软件包对各种工艺参数提供精确一致的控制。这些参数由软件实时监控和调整，允许资产根据流程的具体要求调整参数。此外，该软件还包括内置的安全协议，以确保以安全和有效的方式执行所有流程。此外,470 S还提供全套诊断和清洁模块。模型可以自动识别任何检测到的问题,并提供逐步解决这些问题的过程。该设备还具有自动晶片识别、高级污染检测和电缆完整性检测功能，以帮助确保所有基板得到妥善处理，系统运行最佳。综上所述，SEMITOOL 470S提供了一个可靠、准确、精确的解决方桉，以支持广泛的光刻胶条带处理应用。该单元具有创新的控制机器、广泛的抗拒处理能力以及完整的诊断和清洁模块。SEMITOOL 470 S的模块化性质使得它可以被定制以满足每一个应用程序的特定需求，为光刻胶条带处理提供了全面高效的解决方桉。